第540章 开始测试！ (第2/2页)
行。
光源状态正常。
光学系统完成准备。
工件台进入指定位置。
控制室里很安静，只听得见工作人员不断确认状态的声音。
先前陈知远解决的那类动态漂移，这次没有再成为主要障碍。
可就在流程即将进入下一段动作时，控制台忽然弹出一行黄色提示。
“曝光准备条件未满足。”
操作人员立即按规程暂停了后续步骤。
老梁眉头一皱。
“刚才不都绿了吗？”
“别急。”陈知远已经走到屏幕前，“先保留记录，看看是哪个条件没满足。”
两位工程师迅速调出状态日志。
安全保护没有异常，设备也没有损坏。
问题出在整机状态确认上。
“光学系统这里已经报就绪了，工件台为什么没认？”
“它认了上一段的结果，下一段又重新校验了一次。”
陈知远顺着记录往前看，很快找到两套流程之间的衔接处。
“不是它没认。”
他指着屏幕。
“是两边各自等着对方先给下一步确认，设备没问题，流程卡在这里了。”
老梁听完，脸色顿时古怪起来。
“这不就是……互相等？”
“差不多。”
陈知远笑了笑。
“前几天排程表互相等，今天连设备也学会了。”
紧绷的气氛一下松了些。
不过笑归笑，谁也没敢随便跳过确认步骤。
相关负责人重新核查流程，按规定完成修改审批和复测，确认所有保护条件仍然有效后，才允许重新启动。
这一次，提示没有再出现。
一个个状态灯依次亮起。
控制室里所有人的目光，都集中到了最后一项进度上。
完整曝光流程，执行完成。
“完成了？”一个年轻研究员忍不住问。
老梁摆摆手。
“机器说完成不算，得看晶圆。”
测试样片随后被送往计量检测。
等待结果的那段时间，反而比刚才还难熬。
周启山站在控制室里，手中的茶早就凉了，也没喝一口。
终于，计量组的电话打了过来。
“周院士，第一批结果出来了。”
“说。”
“完整曝光链路执行正常，样片上检测到了预定测试图形，图形数据已经上传，可以进一步分析。”
周启山没有立即说话。
下一秒，屏幕上的检测图像传了过来。
一组组细密的测试图形，清清楚楚地出现在众人眼前。
不是一张用来展示光源能够曝光的照片。
而是现有平台按照这一轮统一流程，由多个系统协同完成后，真正交出来的测试结果。
老梁一拳砸在自己掌心。
“成了！”
有人直接站了起来。
“真跑通了！”
“七天啊！这事之前还排在几个月后呢！”
那位负责工艺集成的院士盯着屏幕看了许久，终于长长吐出一口气。
“原来不是非得等到所有系统都做到最好，才能往前走这一步。”
周启山转过头，看向陈知远。
“你这一周，真把大家拧到一起了。”
陈知远没有谦虚，也没有得意。
“主要是各组底子都在，没有他们前面做的那些工作，七天也不可能把链路跑通。”
这话没人反驳。
可所有人也都清楚，底子一直在，过去却始终没能这样协同起来。
差的正是那个能把整盘棋看清楚、还敢把所有人往同一个方向带的人。
周启山看完第一批数据，当场让工作人员把后续设备窗口重新排好。
“别再等原来那张表了，接下来优先保障多轮对准验证，其他计划按程序协调调整。”
“今天这批数据全部归档，独立检测继续做。”
“明白！”
然而，几分钟后。
计量组负责人拿着更详细的分析报告走进控制室。
“周院士，还有个问题。”
老梁刚刚扬起来的嘴角停住了。
“又怎么了？”
“图形是出来了，但不同曝光层之间的位置匹配还不够稳定，按咱们这次定的阶段验收要求，现在还过不了。”
控制室里的兴奋稍稍冷却。
周启山拿起报告，皱起了眉。
这并不奇怪。
完整链路跑通，只代表他们终于能把整套设备放在一起工作。
真正要让多轮曝光的图形准确落到指定位置，还有一道硬坎。
老梁下意识看向陈知远。
“接下来怎么干？”
陈知远接过报告，迅速翻了几页。
他的视线落在几组不同条件下的偏差分布上，忽然笑了。
“这不是挺好吗？”
老梁一愣。
“哪里好了？”
“以前连完整结果都拿不到，想查都找不准地方。”
陈知远把报告摊到桌上。
“现在机器能完整跑起来，问题反而摆得清清楚楚。”
他伸手点了点图纸。
“明天开始，直接冲多轮对准。”
“这次我不只要它能印出来。”
“我要每一层，都印在该在的位置上。”