第537章 他们找了三个月的问题 (第2/2页)
起查！”
这三个月，他们并不是毫无收获。
各个子系统该测的都测了，该排的也排了，积累下来的原始记录甚至相当完整。
可也正因为每条线都查得很细，反而没人能拿出足够清楚的证据，说明究竟该先动哪里。
现在，陈知远用几组已有数据，硬生生把那团乱麻扯出了一根线头。
周启山盯着屏幕，眼神已经完全不同。
“知远。”
“嗯？”
“既然能预测，那能不能补偿？”
这才是所有人最关心的问题。
能解释过去的错误，当然重要。
但他们造的是光刻机，不是专门用来分析错误的机器。
陈知远想了想。
“能做，不过不能直接在现有控制指令上再叠一层修正。”
老梁点头：“否则两边都有补偿，搞不好还会互相打架。”
“对。”
陈知远重新打开模型。
“我的想法是，不等偏移出现再追着修，而是先根据系统当前状态，预测接下来可能发生的变化。”
“让新的补偿策略和原有控制一起计算，别让它们各算各的。”
他边说边调整界面，把需要改动的环节一一指出来。
控制组的两位研究员很快凑了过来。
一个负责实时算法，一个熟悉工件台控制，两人没客气，接连问了几个问题。
“预测要是错了呢？”
“先限定启用范围，超过条件就退回原策略。”
“控制周期不能随便拉长。”
“所以复杂计算放到离线建模，在线只保留能及时完成的部分。”
“那第三组没解释出来的波动怎么办？”
“别动它，第一版先解决已经验证的这一类问题，别想着一口气全吃下。”
几句话下来，原本还想提醒他现实限制的两人，也渐渐不再把他当成刚进组的年轻人。
因为他不是只会提出一个漂亮概念。
系统能做什么，哪里不能碰，出了问题该怎么退回去，他都考虑到了。
周启山一直听到这里，才终于笑了。
“顾明远跟我说，你这小子很擅长找关键问题。”
“现在看来，他还是说保守了。”
顾明远站在旁边，脸上的笑意怎么也压不住。
这场面，他倒不是第一次见。
不过能在这种项目里看见，感觉还是不一样。
周启山不再耽搁，直接转向老梁。
“先前暂缓的那轮重复标定，不急着恢复，光学组、计量组、控制组，把今天的数据验证整理成正式记录。”
“再组织一轮离线仿真，看看这套思路能把哪些误差压下来。”
老梁点头：“没问题。”
周启山又看向陈知远。
“这个方向是你提出的，后面的验证，你来牵头。”
工作室里短暂安静了一下。
这里可是国家重大科研专项。
一句“牵头”，意味着后续的技术方案、验证目标和关键判断，都需要由他统筹推进。
而陈知远，今年才十九岁。
陈知远倒没什么受宠若惊的感觉。
“可以，不过具体实现得各组一起做，我只负责关键方案和方向把关。”
周启山听得更满意了。
“当然，让你一个人把整台设备的活儿都干了，那我们这些人坐这里干什么？”
众人顿时笑了起来。
老梁也跟着笑，笑完却认真伸出手。
“陈知远，接下来就一起干吧。”
“梁老师，合作愉快。”
两人握了握手。
没有什么隆重仪式。
但就在这间工作室里，一项原本没有明确突破方向的任务，已经有了新的负责人和验证路线。
当天傍晚，第一版离线仿真结果出来了。
针对已经识别出的那部分偏移，采用新策略后的模拟结果明显比原方案更稳定。
当然，这还只是仿真。
距离真正装到设备上，中间还有安全检查、控制接口适配，以及受控条件下的测试。
可这份结果，已经足够让周启山作出决定。
他拿起电话，拨给整机测试负责人。
“明天的测试窗口，给我们留一段。”
“对，新的动态补偿方案。”
“先做受控验证，原有控制策略保留，任何指标越界就立即退出。”
挂断电话后，周启山看向陈知远。
“数据能对上，仿真也有改善，接下来，就该让机器说话了。”
陈知远望向屏幕上那条逐渐平稳的曲线，笑了笑。
“那就明天见真章。”
窗外，天色已经暗了下来。
而这台国产EUV光刻机，距离下一次真正的整机验证，只剩下一个晚上。